วิธี DOP สำหรับการตรวจจับการรั่วไหลของตัวกรองประสิทธิภาพสูง
ตัวกรองประสิทธิภาพสูงมักใช้สำหรับการกรองขั้นสุดท้ายในห้องคลีนรูม ห้องคลีนรูม และโรงงานปลอดฝุ่น โดยส่วนใหญ่ใช้สำหรับการกรองอนุภาคฝุ่นที่มีขนาดมากกว่าหรือเท่ากับ 0.3 μ m ซึ่งมีบทบาทสำคัญ โดยเกี่ยวข้องกับการให้แน่ใจว่าห้องคลีนรูมสามารถบรรลุและรักษาระดับความสะอาดที่ออกแบบไว้ได้ ดังนั้น การทดสอบการรั่วไหลของตัวกรองประสิทธิภาพสูงในห้องคลีนรูมเพื่อให้แน่ใจว่าเป็นไปตามข้อกำหนดจึงเป็นหนึ่งในวิธีการสำคัญเพื่อให้แน่ใจว่าสภาพแวดล้อมในโรงงานสะอาด วันนี้เราจะอธิบายวิธีการตรวจจับการรั่วไหลของตัวกรองประสิทธิภาพสูง - วิธี DOP วิธีการตรวจจับคือการพิจารณาว่ามีการรั่วไหลที่ชัดเจนในตัวกรองประสิทธิภาพสูงเองหรือไม่และการติดตั้ง พื้นที่ต่อไปนี้จะถูกทดสอบในสถานที่: วัสดุกรองของตัวกรอง การเชื่อมต่อระหว่างวัสดุกรองของตัวกรองและภายในกรอบ ระหว่างปะเก็นปิดผนึกของกรอบตัวกรองและกรอบรองรับของกลุ่มตัวกรอง ระหว่างกรอบรองรับและผนังหรือเพดาน วัสดุและเครื่องมือสำหรับการตรวจจับการรั่วไหลของ DOP ได้แก่ แหล่งกำเนิดฝุ่น (ตัวทำละลาย PAO) เครื่องกำเนิดละออง และเครื่องวัดแสงละออง เครื่องกำเนิดละอองที่บริษัทของเราใช้คือเครื่องกำเนิดละอองแบบมือถือ Laskin รุ่น ATI TDA-6C ซึ่งใช้ลมโดยตรงโดยไม่ต้องใช้ก๊าซอัดเป็นพลังงาน ที่ความดันใช้งาน 20Pa และความเร็วการไหลของอากาศ 50~2025f3/นาที สามารถสร้างละอองน้ำมันระดับซับไมครอนที่มีความเข้มข้น 10~100ug/mL ได้ เครื่องวัดแสงละอองที่ใช้คือเครื่องวัดแสงประเภท ATI 2H ซึ่งมีช่วงการวัดแบบไดนามิก 0.00005~120ug/L และอัตราการไหลของการสุ่มตัวอย่าง 1F3/นาที (28.3L/นาที) สิ่งที่ทุกคนกำลังพูดถึงคือวิธีการตรวจจับการรั่วไหลของตัวกรองประสิทธิภาพสูง - วิธี DOP การนำละอองลอย PAO เข้าสู่ด้านต้นน้ำของ HEPA ที่ผ่านการทดสอบสำหรับ HEPA ในระบบ HVAC สามารถทำให้มีความเข้มข้นที่สม่ำเสมอได้เมื่อละอองลอยไปถึง HEPA ละอองลอยสามารถนำเข้าโดยตรงจากด้านแรงดันลบของพัดลมระบบได้ หากจะนำออกจากท่ออากาศ ควรนำเข้าอย่างน้อย 10 เท่าของเส้นผ่านศูนย์กลางของท่ออากาศจาก HEPA และควรลดการโค้งงอให้เหลือน้อยที่สุดเท่าที่จะทำได้ (American Society for Environmental Science and Technology) โดยทั่วไปแล้ว การรักษาความเข้มข้นที่ต้องการของละอองลอยด้านบนและรักษาความผันผวนของความเข้มข้นให้อยู่ในช่วงที่กำหนดก็เพียงพอแล้ว สำหรับเครื่องดูดควันแบบลามินาร์โฟลว์และ HEPA บนโต๊ะทำความสะอาดพิเศษ ละอองลอยจะถูกนำเข้าโดยตรงจากด้านแรงดันลบของพัดลมระบบ เริ่มต้นและตั้งค่ามาตรฐานอ้างอิงเป็น 100% และ 0% ตามข้อกำหนดการทำงานของเครื่องวัดปริมาณละอองลอย เชื่อมต่อท่อเก็บตัวอย่าง UPR เข้ากับพอร์ตเก็บตัวอย่างด้านบนและวัดความเข้มข้นของละอองลอยด้านบน ปรับความเข้มข้นของละอองที่เกิดขึ้นตามข้อกำหนดการทำงานของเครื่องกำเนิดละออง เพื่อให้ความเข้มข้นของละอองต้นน้ำถึง 10~20ug/mL สแกนและตรวจจับการรั่วไหลของแผ่นกระจาย HEPA และสแกนพื้นผิวตัวกรองทั้งหมด ระหว่างตัวกรองและกรอบ ระหว่างกรอบ และระหว่างกรอบและกล่องแรงดันสถิตเพื่อปิดผนึก เมื่อสแกน หัวสุ่มตัวอย่างจะอยู่ห่างจากพื้นผิวตัวกรองประมาณ 1 นิ้ว (ประมาณ 2.54 ซม.) และความเร็วในการสแกนไม่เกิน 5 ซม./วินาที







